ಸಕ್ರಿಯ ಹೀಲಿಯಂ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವಿಕೆ ಮತ್ತು ಉತ್ಪಾದನಾ ಟ್ರ್ಯಾಕಿಂಗ್‌ನೊಂದಿಗೆ ಮೈಕ್ರೋಚಾನೆಲ್ ಶಾಖ ವಿನಿಮಯಕಾರಕ ಘಟಕಗಳಿಗಾಗಿ ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತ ನಿರ್ವಾತ ಪೆಟ್ಟಿಗೆ ಹೀಲಿಯಂ ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆಕಾರಕ
ಈ ಯಂತ್ರವು ಸೂಕ್ಷ್ಮ-ಚಾನೆಲ್ ಶಾಖ ವಿನಿಮಯಕಾರಕ ಘಟಕಗಳ ನಿರ್ವಾತ ಪೆಟ್ಟಿಗೆ ಹೀಲಿಯಂ ದ್ರವ್ಯರಾಶಿ ಸ್ಪೆಕ್ಟ್ರಮ್ ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆಗಾಗಿ ವಿಶೇಷ ಯಂತ್ರವಾಗಿದೆ. ಈ ಯಂತ್ರವು ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ನಿರ್ವಾತ ಪೆಟ್ಟಿಗೆ ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆ ವ್ಯವಸ್ಥೆ, ಹೀಲಿಯಂ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ವ್ಯವಸ್ಥೆ ಮತ್ತು ಎಲೆಕ್ಟ್ರಾನಿಕ್ ನಿಯಂತ್ರಣ ವ್ಯವಸ್ಥೆಯನ್ನು ಒಳಗೊಂಡಿದೆ. ಯಂತ್ರವು ಸಕ್ರಿಯ ಹೀಲಿಯಂ ಶುಚಿಗೊಳಿಸುವ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ; ಯಂತ್ರವು ಉತ್ಪನ್ನ ಉತ್ಪಾದನಾ ಪ್ರಮಾಣ, ಸರಿ ಉತ್ಪನ್ನ ಪ್ರಮಾಣ ಮತ್ತು NG ಉತ್ಪನ್ನ ಪ್ರಮಾಣವನ್ನು ದಾಖಲಿಸುವ ಕಾರ್ಯವನ್ನು ಹೊಂದಿದೆ.
| ಪರಿಶೀಲಿಸಿದ ಕೃತಿಗಳ ಉತ್ಪನ್ನ | 4L |
| ಕೆಲಸದ ಭಾಗದ ಗರಿಷ್ಠ ಬಾಹ್ಯ ಆಯಾಮ | 770ಮಿಮೀ * 498 * 35ಮಿಮೀ |
| ನಿರ್ವಾತ ಕೊಠಡಿಯ ಗಾತ್ರ | ೧೧೦೦ (ಉದ್ದ) ೬೫೦ (ಆಳ) ೩೫೦ (ಎತ್ತರ) |
| ವಿಷಯ ಉತ್ಪನ್ನ | 250ಲೀ |
| ನಿರ್ವಾತ ಪೆಟ್ಟಿಗೆಗಳ ಸಂಖ್ಯೆ | 1 |
| ಪ್ರತಿ ಪೆಟ್ಟಿಗೆಗೆ ಖಾಲಿ ಜಾಗಗಳ ಸಂಖ್ಯೆ | 2 |
| ವರ್ಕ್‌ಪೀಸ್ ಪ್ರವೇಶ ಮತ್ತು ನಿರ್ಗಮನ ಪೆಟ್ಟಿಗೆಯ ಮೋಡ್ | ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಪ್ರವೇಶ ಮತ್ತು ನಿರ್ಗಮನ ನಿರ್ವಾತ ಪೆಟ್ಟಿಗೆ |
| ಬಾಗಿಲು ತೆರೆಯಿರಿ ಮತ್ತು ಮುಚ್ಚಿರಿ | ಫ್ಲಿಪ್ ಕವರ್ ಪ್ರಕಾರ |
| ದೊಡ್ಡ ಸೋರಿಕೆ ಒತ್ತಡ | 4.2ಎಂಪಿಎ |
| ಹೀಲಿಯಂ ತುಂಬುವ ಒತ್ತಡ | 3MPa ಸ್ವಯಂಚಾಲಿತವಾಗಿ ಸರಿಹೊಂದಿಸಬಹುದು |
| ಸೋರಿಕೆ ಪತ್ತೆಯ ನಿಖರತೆ | 2 ಗ್ರಾಂ / ವರ್ಷ (△P=1.5MPa, R22) |
| ನಿರ್ವಾತ ಪೆಟ್ಟಿಗೆಯ ಸ್ಥಳಾಂತರಿಸುವ ಒತ್ತಡ | 30ಪ್ಯಾ |
| ಹೀಲಿಯಂ ಅನಿಲ ಚೇತರಿಕೆ ದರ | 98% |
| ನಿರ್ವಾತ ಪೆಟ್ಟಿಗೆ ಪರೀಕ್ಷಾ ಕೇಂದ್ರ (ಡಬಲ್ ಬಾಕ್ಸ್) | 100 ಸೆ / ಸಿಂಗಲ್ ಬಾಕ್ಸ್ (ಹಸ್ತಚಾಲಿತ ಲೋಡಿಂಗ್ ಮತ್ತು ಇಳಿಸುವಿಕೆಯ ಸಮಯವನ್ನು ಹೊರತುಪಡಿಸಿ). ಬಾಕ್ಸ್‌ನ ಎರಡೂ ಬದಿಗಳಲ್ಲಿ 2 ಕಾರ್ಯನಿರ್ವಹಿಸುವ ಮೆದುಗೊಳವೆಗಳೊಂದಿಗೆ, |
| ಸೋರಿಕೆ ದರ ನಿಯಂತ್ರಣ ಸೆಟ್ಟಿಂಗ್ (ಅವನು) | ಬಳಕೆದಾರರು ತಮ್ಮದೇ ಆದ ಪ್ರಕ್ರಿಯೆಯ ಅವಶ್ಯಕತೆಗಳಿಗೆ ಅನುಗುಣವಾಗಿ ಪ್ಯಾರಾಮೀಟರ್ ಗುಂಪುಗಳನ್ನು ಆಯ್ಕೆ ಮಾಡಬಹುದು ಅಥವಾ ಪ್ರದರ್ಶನ ಪರದೆಯಲ್ಲಿ ಅವುಗಳನ್ನು ಮಾರ್ಪಡಿಸಬಹುದು. |
| ವ್ಯಾಪ್ತಿ ಪ್ರದೇಶ | 3140(ಎಲ್)×2500(ಪ)×2100(ಉ)ಮಿಮೀ |
| ಸಾಧನಕ್ಕೆ ವಿದ್ಯುತ್ ಸರಬರಾಜು | ಮೂರು-ಹಂತದ AC 380V± 10% 50Hz |
| ಅನುಸ್ಥಾಪನಾ ಶಕ್ತಿ | 20 ಕಿ.ವ್ಯಾ |
| ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿಯ ಒತ್ತಡ | 0.5-0.6ಎಂಪಿಎ |
| ಇಬ್ಬನಿ ಬಿಂದು | -10℃ |
| ಒತ್ತಡಕ್ಕೊಳಗಾದ ಅನಿಲ | 99.8% ಕ್ಕಿಂತ ಹೆಚ್ಚಿನ ಸಾರಜನಕ ಶುದ್ಧತೆ ಅಥವಾ -40 ಡಿಗ್ರಿ ಸೆಲ್ಸಿಯಸ್‌ಗಿಂತ ಕಡಿಮೆ ಇರುವ ಸಂಕುಚಿತ ಗಾಳಿ; |
| ಒತ್ತಡಕ್ಕೊಳಗಾದ ಅನಿಲ ಒತ್ತಡ | 5.5 ಎಂಪಿಎ |